Contrôle géométrique automatique des lingots de silicium

Micro-Epsilon présente un tout nouveau système appelé « dimensionCONTROL 8260 pour lingots » destiné au contrôle géométrique des lingots de silicium.

Appelé « Système de mesure pour lingots », l’installation contrôle, à l’aide de plusieurs capteurs optiques laser (scanners à ligne), la surface du lingot et procède à la mesure automatique de ses dimensions, des angles, des valeurs des diagonales et contrôle la planéité des surfaces.

L’installation de mesure automatique compare les valeurs de consigne avec les valeurs mesurées et classifie ainsi le lingot. Son calibrage s’effectue de manière entièrement automatique en fonction des tailles de lingot courantes : 125 mm x 125 mm, 156 mm x 156 mm et 210 mm x 210 mm. Elle permet de contrôler des lingots d’une longueur maximale de 2500 mm.

Pour chaque lingot, le calibrage de l’installation s’effectue par le biais de pièces maîtresses (calibrées ou pièces de référence) intégrées. Le marquage des zones défectueuses sur le lingot s’effectue soit automatiquement, à l’aide d’une unité de marquage, soit manuellement, par l’utilisateur. Pour pouvoir déterminer le rendement exact, il convient également de connaître le poids du lingot. C’est pourquoi l’installation est également disponible avec une cellule de pesée intégrée. Durant le processus de mesure, la plaque sur laquelle les capteurs sont montés se déplace au dessus de l’échantillon. Le client décide lui-même de la fréquence à laquelle les mesures doivent être réalisées. La géométrie des lingots se mesure généralement avec un pas d’échantillonnage du millimètre.