PFLOW: des débitmètres d’air massique OEM MEMS pour les applications médicales et le contrôle de procédés

PEWATRON présente PFLOW, un nouveau débitmètre d’air massique MEMS qui s’appuie sur les dernières avancées technologiques en matière de MEMS et de micro-électronique. Le capteur PFLOW possède une résistance remarquable aux obstructions et aux chocs de pression. Du fait de son isolation thermique assurée par MEMS, une conception innovante, il ne nécessite ni membranes fines ni cavités de surface pour assurer son isolation. Ce capteur se caractérise par une très grande sensibilité à faible débit, qui le destine parfaitement aux applications médicales et autres applications complexes dans le secteur des procédés.

La puce de détection de débit consiste en deux thermopiles positionnées symétriquement de chaque côté, en amont et en aval, d’un dispositif chauffant les soudures chaudes. Les 20 thermocouples en série qui forment chaque thermopile offrent une sensibilité maximale. Lorsqu’un débit traverse la puce, la thermopile génère une tension de sortie proportionnelle au gradient de température (asymétrique) entre les soudures froide et chaude, suivant l’effet Seebeck. Si le médium est statique (aucun débit), le profil de température de chacune – amont et aval – est symétrique.

Cinq plages de mesure standard sont offertes de 0…10 SCCM à 0…2000 SCCM, auxquelles s’ajoutent des plages personnalisables entre 10 et 2000 SCCM. La précision dépasse +/- 2% à pleine échelle et la sortie analogique compensée en température (0…50°C) est hautement linéaire par rapport au débit. La tension de sortie analogique est comprise entre 1 et 5 VDC et le capteur résiste à la condensation aqueuse. Les temps de réponse sont extrêmement rapides, de l’ordre de 1 à 3 ms.