Solution intégrée de générateur de vapeur VDM

Bronkhorst High-Tech BV, fabricant de débitmètres et de régulateurs de débit massique pour gaz et liquides, a développé une nouvelle gamme de générateurs de vapeur VDM, Vapor Delivery Modules. Ces systèmes compacts comprennent un régulateur de débit liquide (thermique ou Coriolis), un ou deux régulateurs de débit massique pour gaz vecteur, et une chambre de mélange et d'évaporation régulée en température. Les modules sont munis d'un écran TFT de 1,8" et de boutons permettant la lecture et la commande du système. Ils peuvent également être opérés par communication numérique (RS232 ou FLOW-BUS). En option, les systèmes peuvent être équipés d'un régulateur de débit massique supplémentaire pour la dilution, et d'un dispositif de contrôle thermique local ou à distance. Les modules compacts, prêts à l'emploi, peuvent générer des débits de vapeurs (saturées) allant de 100 sccm à 10 SLM. La technologie de Contrôle Evaporation Mélange (CEM) utilisée convient aux processus à pression atmosphérique ou sous vide et permet de vaporiser des mélanges et même des solvants contenant des solides dissous.

Cette gamme de générateurs de vapeur (Vapor Delivery Modules) est utilisée avec succès dans les processus de dépôts de vapeur et de couches minces de protection dans le cadre de la production de semi-conducteurs, de transistors et de panneaux solaires. Les dispositifs peuvent également être appliqués pour l'étalonnage d'analyseurs tels que des chromatographes gaz et des spectromètres de masse, pour des anesthésies et  pour l'humidification de piles à combustibles ou d’atmosphères gazeux.