Interféromètre absolu : Nouveaux capteurs pour vide avec trajectoire de rayon à 90°

Les interféromètres absolus de Micro-Epsilon redéfinissent la mesure de distance de haute précision. Le nouveau capteur miniature IMP-DS10/90/VAC est conçu pour être utilisé sous vide et permet une intégration peu encombrante grâce à une trajectoire de rayon de 90 degrés. Le capteur est compatible avec les contrôleurs interferoMETER IMS5400 et IMS5600.

Les interféromètres absolus interferoMETER 5400-DS et 5600-DS sont utilisés pour la mesure de distance avec une précision nanométrique. La catégorie de produits comprend désormais de nouveaux capteurs, avec un écartement de base élevé de 10 mm. Ces capteurs sont conçus pour des applications de haute précision dans des environnements de salle blanche et sous vide, par exemple pour des mesures sur des tranches de silicium revêtues. Une variante UHV non magnétique en titane permet en outre une application dans des champs magnétiques puissants, apparaissant par exemple dans la technique médicale utilisant le spin nucléaire ou le microscope à faisceau électronique.

La construction avec une trajectoire de rayon de 90° réduit considérablement la profondeur d’installation nécessaire. En fonction du contrôleur sélectionné, des linéarités de < ±50 nm ou < ±10 nm sont possibles. Pour une intégration optimale dans différents systèmes de commande et différents programmes de production, ces interféromètres absolus innovants disposent de nombreuses options de connexion. Celles-ci comprennent aussi bien des interfaces numériques comme Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET et EtherNet/IP qu’une sortie analogique. Comme auparavant, la configuration du contrôleur et de ses capteurs est effectuée entièrement par l’interface web, sans logiciel supplémentaire.