Capteurs Inertiels

Fabrication personnalisée de capteurs inertiels haute précision

First Sensor annonce l'achèvement de la qualification de ses capteurs inertiels capacitifs haute précision en silicium et le début de la production en série pour avril 2017. Les capteurs conçus pour mesurer l'accélération, l'inclinaison et les vibrations sont constitués d'un élément capteur fabriqué selon un procédé micromécanique breveté (HARMS, AIM), dotés d'un traitement de signal ASIC et placés dans un boîtier SMD fermé hermétiquement. Les capteurs inertiels atteignent, selon la largeur de bande, des résolutions de 10 µg ou 0,0005° (2 secondes d'arc) et peuvent être adaptés mécaniquement et électriquement à chaque application de client. Des kits d'évaluation sont également disponibles pour l'évaluation et la configuration simples et rapides des capteurs.

Les capteurs inertiels haute précision First Sensor offrent des performances supérieures et un excellent rapport prix-performance par rapport aux solutions existantes. Les microstructures monocristallines non enrobées en silicium à haut rapport de forme (HARMS) assurent une sensibilité transverse minimale, des rapports signal-bruit élevés et une stabilité de température remarquable. En outre, la technologie brevetée AIM (Air gap Insulated Microstructures) permet de minimiser les capacités parasites en isolant les composants à l'aide d'un entrefer. Avec des plages de mesure de ±30°, les capteurs d'inclinaison atteignent ainsi une densité de bruit inférieure à 0,0004°/√Hz et des résolutions de moins de 0,0015° pour une fréquence de mesure de 10 Hz. Les capteurs d'accélération offrent des plages de mesure de ±3 g, ±8 g et ±15 g et atteignent une densité de bruit inférieure à 30 µg/√Hz et des résolutions de moins de 40 à 95 µg pour une fréquence de mesure de 10 Hz.

Principales caractéristiques des capteurs inertiels MEMS :

• Procédé de fabrication micromécanique breveté (HARMS, AIM) des éléments capteurs
• Traitement du signal ASIC configurable avec signal de sortie numérique
• Rapports signal-bruit très élevés avec des résolutions de 10 µg et 0,0005°
• Adaptations flexibles, spécifiques au client

Les capteurs d'inclinaison et d'accélération First Sensor sont utilisés dans l'industrie, l'immotique, l'aéronautique et les appareils médicaux. Les principales applications sont la géo-ingénierie, la surveillance d'état, la navigation, la robotique et les systèmes d'alignement, de positionnement et de mise à niveau.

À propos de First Sensor
First Sensor est parmi les principaux fournisseurs mondiaux dans le domaine des capteurs. Sur ce secteur en forte croissance, nous développons et produisons des solutions de capteurs sur mesure pour un nombre croissant d’applications dans l'industrie, le médical et la mobilité. Dans ce contexte, notre objectif est de relever et réussir dès maintenant les défis du futur grâce à nos technologies de capteurs innovantes.